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我是使用 ImageJ 的初学者。我有一个 4" 直径的带有空隙的晶圆的图像。我首先缩放图像。然后我做一个阈值颜色,只突出显示空隙。然后我在晶圆周围放置一个 ROI。

然后我运行分析粒子例程,它很好地包围了空隙,在汇总表中,总面积列似乎得出了正确的总空隙面积 #。但是 %Area 列 # 很低,我认为是因为它使用了 Total Area\the entire Image 区域。我希望它告诉我晶圆中空洞的百分比,即 Total Void Area\ROI Area(wafer area)。有没有简单的方法可以做到这一点,还是我做错了什么?另一种选择是,我计划将其记录在宏中,因为我知道总晶圆面积,我假设我可以做一些数学运算,将总空洞面积除以已知的晶圆面积,得到晶圆空洞百分比数 I'我正在寻找通过宏输出的内容,但需要一些帮助才能做到这一点。对此的任何帮助将不胜感激。谢谢,史蒂夫

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您可以使用分析 >设置测量...中的限制到阈值选项来测量 ROI 的整个区域(如果未选中该选项)并仅测量ROI的阈值区域(如果选中该选项)。然后,您可以按照您的建议将百分比计算为两次测量的比率。

当您在执行这些步骤之前运行Plugins > Macros > Record...时,宏记录器将列出执行分析所需的命令,例如:

setAutoThreshold("Default");
run("Set Measurements...", "area limit redirect=None decimal=3");
run("Measure");
run("Set Measurements...", "area redirect=None decimal=3");
run("Measure");

然后使用getResult()宏功能获得所需的结果并计算您的比率,或者将结果窗口保存为 Excel 文件并在不同的应用程序中进行计算。

于 2014-12-02T14:15:24.910 回答