我执行以下操作：
将可执行文件复制到C:\temp\x.exe
启动可执行文件，然后通过调用返回的对象System.Diagnostics.Process.Start同步等待进程退出。WaitForExitProcessStart
删除可执行文件C:\temp\x.exe
在某些机器上，这很好用，但在其他机器上，调用DeleteFile失败，因为该文件仍在使用中。所以似乎一旦WaitForExit返回，并不意味着Windows已经完成了EXE。
我在这里有什么选择？DeleteFile显而易见的一个可能是在几毫秒后再次尝试，在一个循环中，直到删除成功或循环超时。但是有没有更干净的方法来等待每个人都关闭文件？
您的 exe 在执行完成后仍可能被锁定的原因有几个。有些与您的代码有关，有些与系统有关。我可以为您的代码考虑的两个主要原因是：
将 exe 文件复制到临时位置时如何关闭文件流，如果未明确发布，则发布时间可能会不时更改。
第二个是即使过程完成执行并不意味着它是从系统角度完成的。
第一个可以避免，第二个可以在进程列表中监控，但你仍然有一堆可能的锁（你的程序并行执行两次，病毒扫描一些手动清理临时文件夹，磁盘清理向导）。所以我建议要么修改程序的逻辑。如果可执行文件是用 c# 编写的，则加载二进制文件并执行程序，而不是复制文件。
如果您出于某种原因需要在每次执行文件时都复制文件，则生成一个低优先级的清理线程。让它在 WaitForExit 调用后尝试清理，如果失败，让它在 x 毫秒后重试，如果在 2x 后再次尝试，以此类推。
话虽如此，我猜他们将是（可能是非托管的）API 调用来查找系统级别的文件锁。就个人而言，我只是让系统自己弄清楚